Аннотация: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Автор/составитель | Родионов Юрий Анатольевич |
Год выпуска | 2019 |
ISBN | 978-5-9729-0337-5 |
Производитель | Инфра-Инженерия |
Издательство | Инфра-Инженерия |
Количество томов | 1 |
Количество страниц | 352 |
Переплет | Твёрдый переплёт |
Размеры | 215x152x22 мм |
Цвет | Синий |
Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
Наличие иллюстраций | рисунки |
Тип иллюстраций | черно-белые |
Формат | 60x84/16 (145x200 мм) |
Стандарт | 10 |
Вес | 556 |
Язык | русский |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
- Производитель: Инфра-Инженерия
- Модель: MYSH3648254
- ISBN: 978-5-9729-0337-5
- Наличие:
![Loading](/catalog/view/theme/default/stylesheet/download.gif)