Аннотация к книге: Технология производства электровакуумных приборов. Термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса

Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства
используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов.

Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника» в рамках дисциплины «Термовакуумные процессы и оборудование». Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.

Автор/составитель	Ли Илларион Павлович, Бычков Сергей Павлович, Петров Владимир Семенович
Год выпуска	2022
ISBN	978-5-7038-5823-3
Производитель	Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана
Количество томов	1
Количество страниц	120
Переплет	Мягкая обложка
Размеры	235x165x8 мм
Цвет	Белый
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Вес	202
Язык	русский