Аннотация: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
| Автор/составитель | Родионов Юрий Анатольевич |
| Год выпуска | 2019 |
| ISBN | 978-5-9729-0337-5 |
| Производитель | Инфра-Инженерия |
| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 352 |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Размеры | 215x152x22 мм |
| Цвет | Синий |
| Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
| Наличие иллюстраций | рисунки |
| Тип иллюстраций | черно-белые |
| Формат | 60x84/16 (145x200 мм) |
| Стандарт | 10 |
| Вес | 556 |
| Язык | русский |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
- Производитель: Инфра-Инженерия
- Модель: MYSH3648254
- ISBN: 978-5-9729-0337-5
- Наличие:
