Аннотация к книге: СВЧ транзисторы на широкозонных полупроводниках

Книга представляет собой учебное пособие по физическим основам и технологии транзисторов на широкозонных полупроводниках. Рассмотрены свойства двумерного электронного газа и физика гетеропереходов, в основном типа AlGaN/GaN. Дан обзор структур транзисторов на основе широкозонного полупроводника GaN. Рассмотрены структуры транзисторов на алмазе и карбиде кремния.
Рассмотрены свойства подложек из сапфира, карбида кремния и других материалов, применяющихся для создания гетероструктур. Детально проанализированы методы изготовления гетеропереходов при использовании эпитаксии из металло-органических соединений и молекулярно-лучевой эпитаксии. Рассмотрены требования к омическим контактам и барьерам Шоттки, при использовании которых создаются гетероэпитаксиальные полевые транзисторы с высокой подвижностью электронов в канале (HEMT). Рассмотрена технология транзисторов на алмазе. Дан детальный обзор методов контроля технологических процессов, применяющихся при изготовлении транзисторов. Рассмотрены методы измерения основных параметров СВЧ транзисторов и методы контроля надежности транзисторов.
Книга предназначена для студентов, обучающихся по профилю 210100 «Электроника и наноэлектроника». Книга будет полезна также магистрам, аспирантам, инженерам и научным работникам, специализирующимся в области разработки и применения изделий твердотельной электроники.

Автор/составитель	Концевой Юлий Абрамович, Васильев Андрей Георгиевич, Колковский Юрий Владимирович
Серия	Мир электроники
Год выпуска	2011
ISBN	978-5-94836-290-8
Производитель	Техносфера
Количество томов	1
Количество страниц	256
Переплет	Твёрдый переплёт
Размеры	217x150x15 мм
Цвет	Голубой
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Вес	366
Язык	русский