Google 
Аннотация: Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2
| Автор/составитель | Цветков Юрий Борисович |
| Год выпуска | 2018 |
| ISBN | 978-5-7038-4864-7 |
| Производитель | Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана |
| Дата выпуска | 2019 г. |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 162 |
| Переплет | мягкий |
| Стандарт | 10 |
| Вес | 180 |
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40,- евро Подробнее
Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2
- Модель: MYSH4951808
- ISBN 978-5-7038-4864-7
-
Наличие:
Нет в наличии
