Аннотация: Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".

Автор/составитель	Цветков Юрий Борисович
Год выпуска	2018
ISBN	978-5-7038-4864-7
Производитель	Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана
Дата выпуска	2019 г.
Количество томов	1
Количество страниц	162
Переплет	мягкий
Стандарт	10
Вес	180