Аннотация: Основы технологии электронной компонентной базы
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Автор/составитель | Бодров Евгений Эдуардович |
Год выпуска | 2022 |
ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
Производитель | Инфра-Инженерия |
Издательство | Инфра-Инженерия |
Количество томов | 1 |
Количество страниц | 204 |
Переплет | Твёрдый переплёт |
Размеры | 217x155x15 мм |
Цвет | Зелёный |
Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
Наличие иллюстраций | рисунки |
Тип иллюстраций | цветные |
Формат | 60x84/16 (145x200 мм) |
Стандарт | 10 |
Вес | 360 |
Язык | русский |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Основы технологии электронной компонентной базы
- Производитель: Инфра-Инженерия
- Модель: MYSH4718507
- ISBN: 978-5-9729-0846-2
- Наличие: