Аннотация: Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение

В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.

Автор/составитель	Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович
Год выпуска	2013
ISBN	978-5-9221-1406-6
Производитель	Физматлит
Издательство	Физматлит
Количество томов	1
Количество страниц	216
Переплет	Твёрдый переплёт
Размеры	221x145x18 мм
Цвет	Голубой
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Формат	60x90/16 (145x215 мм)
Стандарт	18
Вес	332
Язык	русский