Аннотация: Нанотехнологии в микроэлектронике
В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
| Год выпуска | 2019 |
| ISBN | 978-5-02-040201-0 |
| Производитель | Наука |
| Издательство | Наука |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 511 |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Размеры | 244x176x33 мм |
| Цвет | Красный |
| Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
| Формат | 70x100/16 (170x240 мм) |
| Стандарт | 6 |
| Вес | 1010 |
| Язык | русский |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Нанотехнологии в микроэлектронике
-22%- Производитель: Наука
- Модель: MYSH3836940
- ISBN: 978-5-02-040201-0
- Наличие: Есть в наличии
-
Срок доставки: 29 дней
- (7 оценок)
-
25.81€ 20.13€
Во-первых - Вы молодец!


