Аннотация: Нанотехнологии в микроэлектронике

В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки. Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.

Год выпуска	2019
ISBN	978-5-02-040201-0
Производитель	Наука
Издательство	Наука
Количество томов	1
Количество страниц	511
Переплет	Твёрдый переплёт
Размеры	244x176x33 мм
Цвет	Красный
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Формат	70x100/16 (170x240 мм)
Стандарт	6
Вес	1010
Язык	русский