Аннотация к книге: Микродатчики и микросистемы

Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 "Приборостроение" и 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника".

Автор/составитель	Гридчин Александр Викторович
Год выпуска	2023
ISBN	978-5-9729-1220-9
Производитель	Инфра-Инженерия
Количество томов	1
Количество страниц	184
Переплет	Твёрдый переплёт
Размеры	216x153x15 мм
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Вес	328
Язык	русский