Аннотация к книге: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».

Автор/составитель	Родионов Юрий Анатольевич
Серия	Радиоэлектроника и приборостроение
Год выпуска	2022
ISBN	978-5-507-46956-7, 978-5-8114-5788-5, 978-5-8114-9566-5
Производитель	Лань
Издательство	Лань
Количество томов	1
Количество страниц	220
Переплет	Твёрдый переплёт
Размеры	242x172x14 мм
Цвет	Красный
Тип бумаги	офсетная (60-220 г/м2)
Формат	70x100/16 (170x240 мм)
Стандарт	10
Вес	420
Язык	русский