Google 
Аннотация: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
| Автор/составитель | Родионов Юрий Анатольевич |
| Серия | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Год выпуска | 2022 |
| ISBN | 978-5-507-46956-7, 978-5-8114-5788-5, 978-5-8114-9566-5 |
| Производитель | Лань |
| Издательство | Лань |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 220 |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Размеры | 242x172x14 мм |
| Цвет | Красный |
| Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
| Формат | 70x100/16 (170x240 мм) |
| Стандарт | 10 |
| Вес | 420 |
| Язык | русский |
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
