Google 
Аннотация: Базовые технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
| Автор/составитель | Воротынцев Владимир Михайлович, Скупов Владимир Дмитриевич |
| Год выпуска | 2023 |
| ISBN | 978-5-392-25297-8, 978-5-392-28208-1, 978-5-3923-8573-7, 9785392303083, 9785392351213 |
| Производитель | Проспект |
| Издательство | Проспект |
| Количество томов | 1 |
| Количество страниц | 520 |
| Переплет | Мягкая обложка |
| Размеры | 210x140x27 мм |
| Цвет | Синий |
| Тип бумаги | офсетная (60-220 г/м2) |
| Формат | 60x90/16 (145x215 мм) |
| Тираж | 50 |
| Стандарт | 1 |
| Возрастная категория | 18+ |
| Вес | 626 |
| Область образования | информатика, электроника, связь |
| Тип материала | учебное пособие |
| Язык | русский |
Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе "высокая чистота материала - высокое качество продукции". Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу "Технология материалов электронной техники". Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.
