Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
| Серия | - |
| Год выпуска | 2018 |
| Кол-во страниц | 138 |
| ISBN | 978-5-02-040089-4 |
| Кол-во томов | 1 |
| Обложка | мягкая обложка |
| Вес | 150г |
Бесплатная Доставка по Европе (EU)*
*Для заказов свыше 40, - евро Подробнее
Труды ФТИАН. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование. Том 27
- Модель: MYSH3223521
- Наличие:
