Аннотация к книге: Тонкопленочные элементы в микроэлектронике. Основы проектирования и изготовления

Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивных элементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и индуктивностей); описаны основные технологические процессы формирования элементов плат МСБ и особенности технологических маршрутов изготовления плат с тонкопленочными элементами, вопросы контроля и обеспечения качества изготовленных элементов. Представленные в книге материалы, обобщающие результаты многолетних исследований, проведенных в рамках выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова", а также исследований отечественных и зарубежных авторов, опубликованных в периодической литературе, могут оказаться полезными в качестве справочного руководства для инженеров и научных работников, занимающихся разработкой и производством микроэлектронной аппаратуры.

Автор/составитель	Седаков А.Ю.
Серия	-
Год выпуска	2011
Кол-во страниц	168
ISBN	978-5-88070-292-3
Кол-во томов	1
Обложка	твердый переплет
Вес	260г