Аннотация к книге: Физика высокочастотного емкостного разряда

Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ-поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты во ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов, как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР. Монография рассчитана на научных работников, занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной.

Автор/составитель	Савинов В.П.
Год выпуска	2013
ISBN	978-5-9221-1551-3
Обложка	твердый переплет
Дата выпуска	2013 г.
Количество томов	1
Количество страниц	308
Переплет	твердый
Формат	60x90/16 (145x215 мм)
Стандарт	14
Вес	400